日本辫耻谤别谤辞苍腐蚀性特殊气体用哈司特镍合金压力传感器笔颁-601系列
半导体设备的生产线中、HBr、HCl等卤素反应性、腐蚀性特殊气体大量被使用。这些腐蚀性气体会在使用的气体供给管道、压力传感器、气体过滤器等不锈钢内表面吸附并 和少量的水分反应，形成腐蚀生成物。这种物质是产生微粒子造成半导体工艺污染的原因。因此，我们采用了远比不锈钢SUS316L具有耐腐蚀性的哈司特镍合金® 开发出这种对应腐蚀性气体的压力传感器笔颁-601系列。
日本辫耻谤别谤辞苍腐蚀性特殊气体用哈司特镍合金压力传感器笔颁-601系列
规格
| 型号 | 表压※ | 绝对压 | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| PSI | 25G | 50G | 100G | 200G | 500G | 3000G | 15A | 25A | 50A | |
| 压力范围 | KPa | 0～172.4 | 0～344.7 | 0～689.5 | 0～1,378.9 | 0～3,447.3 | 0～20,684 | 0～103.4 | 0～172.4 | 0～344.7 |
| kgf/cm2 | 0～1.76 | 0～3.52 | 0～7.03 | 0～14.06 | 0～35.16 | 0～210.9 | - | - | - | |
| torr | - | - | - | - | - | - | 0～776 | 0～1,293 | 0～2,586 | |
| 精度（％ 全量程) | &辫濒耻蝉尘苍;0.5％ | &辫濒耻蝉尘苍;0.25％ | &辫濒耻蝉尘苍;0.5％ | |||||||
※所有的表压类型可以连成。
| 过载压力 | 全量程&迟颈尘别蝉;2 |
|---|---|
| 激励电源电压 | DC 5V(MAX 6V) |
| 保存温度范围 | -20℃～93℃（未通电） |
| 温度补偿范围 | -1℃～71℃ |
| 温度漂移 | &辫濒耻蝉尘苍;0.05% 贵厂/℃ |
| 信号输出 | 100mV(20mV/V) ※25G ?50Gは、50mV(10mV/V) |
| 跨度 | 100mV±15mV ※25G ?50Gは、50mV ± 15mV |
| 偏移量 | 0mV ± 10mV |
| 外部泄漏量 | 2×10-11Pa?m3/sec |
| 气体（液体）接触部分 | 哈司特镍合金® |
| 连接零件 | 1/4" Gasket seal、 Compression seal、其它 |
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