适用于 Ni、Cr、W、Ti、Al 等各种金属的高规格紧凑型镀膜机
特征
直流溅射类系列中最小的超紧凑型号
配备皮拉尼真空计,确保成膜条件的再现性
标配手动快门
TS 之间的距离可以通过专用的样品台和载物台轻松改变。
由于它可以镀上钨,因此它也可以用于制备高分辨率 SEM 的样品。
应用/结果示例
适用于各种设备的电极膜附件
用于制造反射薄膜等
桌面快速涂布机SC-701MkⅡ ADVANCE
基本规格
阴极 | φ2寸直流磁控管/平板型电极 |
适用对象 | Au / Pt / Au-Pd / Pt-Pd / Ag / Pd / W / Ni / Mo / Cr / Ti / Al |
压力测量 | 皮拉尼真空计 |
压力控制 | 针阀手动控制 引入直径 外径 φ6mm 一键式接头 |
工艺气体 | 氩气 |
真空泵 | 直联回转泵:20尝/尘颈苍(带自动漏液) |
腔室尺寸 | 内径φ90×顿90尘尘(厂鲍厂制) |
样品交换方式 | 前门开闭式 |
尺寸(宽/深/高) | 机身:160/450 / 290mm RP:295.5 / 156 / 199.5mm |
重量 | 身体:9 公斤 反相:9 公斤 |