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日本电子技研颈飞补迟蝉耻电容式位移计厂罢-3541 ST-3541采用“无源型”,探头中没有内置电路。因此,稳定性大大提高。此外,由于没有电路部件,因此紧凑且具有用于结合的z佳结构。 它是纳米位移测量,精密工作台位置检测/姿态控制,平面度和厚度测量的理想选择。