产补濒濒飞补惫别微量水分计的特点及阵容介绍
超微量水分计“Falcon Trace”是使用球型SAW传感器定量测量工业气体和天然气中极微量水分子的设备。
响应速度极快,可实时监测含水量变化,可测量含水量和背景气体成分分析两项。气体中的水浓度可以精确测量到 1ppb(十亿分之一)的水平。
案例研究/应用
半导体制造设备制造商
(主要是前端工艺)
电池制造商
及其材料制造商的制造过程
工业气体制造商
产物阵容
响应速度极快,可在数秒内监测含水量变化,有助于稳定半导体和二次电池制造过程中的产物良率和质量。
无需对每种背景气体进行重构,当天然气等成分有波动时,可以同时检测。另外,由于传感器材料是水晶球,耐腐蚀,而且重量轻,携带方便,这也是一大优势。
FT-700WT
实现&濒诲辩耻辞;超&谤诲辩耻辞;微量水分测量的系列机型
测量范围从露点 -110°C 到 -20°C
除露点测量外,背景气体*成分(相当于平均分子量)也以 % 水平检测
* 背景气体:测量水含量的气体
从天然气到高纯度气体,这一单元涵盖
应用示例
工业气体制造过程/出货时的质量控制,半导体制造材料气体的纯度控制
FT-400WT
可在中等范围内进行实时测量的中等型号
在 1 秒内测量从 -90°C 的露点开始的变化,非常适合实时控制系统测量
也可以更改为设备内置类型*
* 请联系我们
应用示例
一般生产线的质量控制,电池制造过程的水分含量监测
FT-300WT
在保持高速响应性的同时强调便携性的小型通用型号
1秒内测量-70&诲别驳;颁露点的变化,支持实时测量系统
轻巧紧凑,重量仅为 2 公斤,便于携带到目标区域
即使在因电池驱动而没有商用电源的地方也可以使用
应用示例
干燥箱、空间含水量分布、一般气体