日本迟补蝉补丑颈半导体和尝颁顿制造设备用橡胶参数介绍
- 对溶剂、酸和碱具有出色的耐受性。
? 比 perflo-elastomer 便宜。
-适用于半导体和液晶制造设备的湿部件。
氟橡胶的交联方式主要有两种：多元醇交联（氟橡胶的主流）和过氧化物交联，但各有优缺点如下表所示。
| 强项 | 缺点 | |
|---|---|---|
| 多元醇 | 优于压缩变形 | 用蒸汽水解 |
| 过氧化物 | 优异的耐水性和耐蒸汽性 | 耐热性和压缩变形较差 |
由 Asahi Tazaki 开发的耐蒸汽性 T77SA01 具有基于多元醇的压缩变形和耐高温蒸汽性。
半导体制造设备
| 耐蒸汽 (T77SA1) | 通用 FKM | ||
|---|---|---|---|
| 初始物理特性 | |||
| 抗拉强度 (MPa) 伸长率 (%) 硬度 | 10.5 230 A69 / S | 13.1 270 A70 / S | |
| 在100°C 和 1 个大气压下 蒸汽 | 120贬后 | ||
| 抗拉强度变化率 (%) 伸长率 变化率 (%) 硬度变化 | ± 0 +1.5 ± 0 | -20.5 +3.7 -4 | |
| 240小时后 | |||
| 抗拉强度变化率 (%) 伸长率 变化率 (%) 硬度变化 | -3.5 +3.5 -2 | -31.0 + 15.5 -8 | |
| 180℃ 蒸汽 | 1000贬后 | ||
| 抗拉强度变化率 (%) 伸长率 变化率 (%) 硬度变化 | -15 +8 | -68 -二十五 | |
| 压缩畸变率(%) 175° x 22H | 四 | 7 | |
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