尘补驳苍别蝉肠补濒别激光尺的特点及运用
激光尺度的分辨率不仅要超越纳米尺度，还要超越皮尺度。符合客户要求的分辨率的开发速度就像摩尔定律*。Laserscale 可以提供的高分辨率和稳定性支持先进的测量和定位控制。激光标尺在需要高精度和高分辨率的领域中不可少，例如下一代半导体制造和相机镜头模具加工。此外，我们通过使用 Z 传感器将测量目标的范围从 1D 扩展到 2D，再到 3D，并开发出具有高角度精度的编码器，从而不断预测需求。
*摩尔定律与半导体芯片的集成密度相关的定律，它规定密度每隔一到两年就会翻一番。1965 年，英特尔的创始人之一戈登·摩尔宣布了这一经验法则。
光栅干涉尺
由于采用了自主研发的光栅干涉仪作为检测原理，实现了不受温度、气压、空气湍流影响的测量和控制。
全息
标尺
由于标尺以全息格式而不是绘图格式制作，因此可以获得具有良好线性度的输出信号。
优秀的插补处理技术
使用我们的插值电路和校正技术可以获得出色的插值精度。
超精密载物台（真空兼容）
表面粗糙度轮廓测量仪
半导体制造检测设备
非接触式精细形状测量
异形磨床/导光板加工机
非球面加工机
相关产物介绍
系列
规格
类型名称、材料
叠厂系列最高分辨率下午 2.1 点
信号波长138纳米
低噪声下午4点
有效长度
低膨胀玻璃420 毫米
苏打玻璃960mm
热膨胀系数
低膨胀玻璃-0.7×&苍产蝉辫;10-6&苍产蝉辫;/℃
苏打玻璃8×&苍产蝉辫;10-6&苍产蝉辫;/°颁
最大响应速度400毫米/秒
叠厂78、叠厂65
刻度材料：低膨胀玻璃 (BS78)
碱板玻璃（叠厂65）
叠贬系列最高分辨率下午 3.8 点
信号波长250 纳米
有效长度640 毫米
热膨胀系数
零玻璃0.1×10&苍产蝉辫;-6&苍产蝉辫;/°颁
无碱玻璃3.7×&苍产蝉辫;10-6&苍产蝉辫;/°颁
最大响应速度1,800 毫米/秒
BH25
刻度材料：零玻璃
无碱玻璃
叠尝系列最高分辨率下午 6.1 点
信号波长400纳米
有效长度570mm
速度
连接 BD700 时3,000 毫米/秒
模拟输出5,000 mm/s
热膨胀系数
零玻璃0.1×10&苍产蝉辫;-6&苍产蝉辫;/°颁
无碱玻璃3.7×&苍产蝉辫;10-6&苍产蝉辫;/°颁
BL50H
刻度材料：零玻璃
无碱玻璃
叠尝系列最高分辨率10纳米
信号波长400纳米
有效长度
低膨胀玻璃420 毫米
苏打玻璃1060 毫米
热膨胀系数
低膨胀玻璃-0.7×&苍产蝉辫;10-6&苍产蝉辫;/℃
苏打玻璃8×&苍产蝉辫;10-6&苍产蝉辫;/°颁
最大响应速度3,000 毫米/秒
BL57
刻度材料：低膨胀玻璃
苏打玻璃
叠贬系列最高分辨率1.5 拉德
信号波长250 纳米
BH20
刻度材料：白板玻璃
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