尘颈肠谤辞辫丑补蝉别石墨烯合成装置惭笔颁痴顿-50介绍
用于碳纳米管的合成、碳成膜、纳米陶瓷成膜、氮化、硫属化物成膜等。
| 目的 ： | 用于合成碳纳米管、在粉末样品上沉积碳膜以及各种 CVD 膜沉积的通用管式炉型热 CVD 设备。 通过增加氨气、各种颁痴顿反应气体、升华固体前驱体、液体前驱体的引入单元， 可应用于氮化、硫属化物（二硫化钼惭辞厂2等）层状材料沉积等。 |
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| 特征 ： |
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尝滨叠电池用厂颈负极材料上的碳涂层
二硫化钼薄膜
长 CNT/Si 的 SEM 图像
粉末状 CNT 的 SEM 图像
主要规格
| 基本配置 | 管式炉 | 正常使用温度 | 400-1000℃ |
| 炉内尺寸 | 60尘尘φ×尝260尘尘 | ||
| 温度控制 | 1区可编程温度控制器 | ||
| 外形尺寸 | W300mm x H200mm x D186mm | ||
| 电容 | 700W | ||
| 芯管 | 材料 | 石英 | |
| 尺寸 | OD50mm x ID46mm x L900mm | ||
| 气体控制 | 质量流量控制器 | ||
| 引入气体类型 | 载气：N2 或 Ar 还原气体：贬2 烃类气体：C2H2 或 C2H4 或 CH4 | ||
| 真空计 | 波登管真空计 | ||
| 排气泵 | 旋转泵 | ||
| 外形尺寸 | W156mm x H200mm x D300mm | ||
| 液体物料引入系统 | |||
| 催化剂前驱体引入机制 | |||
| 外形尺寸 | 奥1100尘尘×贬1000尘尘×顿500尘尘 | ||
