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optiworks 4D动态干涉测量法技术分析

发布时间:2022-11-25 点击量:954

optiworks 4D动态干涉测量法技术分析

传统的移相干涉仪使用压电元件等移动参考平面,获取干涉条纹的图像,并计算相位分布。单次测量至少需要100毫秒,在此期间干涉仪与测量样品之间会发生相对振动和空气波动,导致干涉条纹发生波动,导致测量误差增加。为了防止这种情况,需要光学面板、防振装置、挡风玻璃等。

4D Technology的动态干涉仪是一种划时代的系统,以其“动态干涉测量"解决了此类问题。

在“动态干涉"中,无需机械移动参考平面,一次图像数据采集即可获得四帧相移干涉图。由于对相机的每个像素进行相移,因此可以稳定地收集数据,并且由于一次测量的时间可以缩短到 30 微秒,因此可以在干涉图像因振动等而发生变化之前的瞬间进行测量。

这使得可以在振动不可避免的环境中进行测量,测量远处的样品和移动物体,以及测量在室内进行环境试验的样品。

“4厂颈驳丑迟&迟谤补诲别;"数据分析软件

用于高级干涉仪的高级软件。4D Technology 的 4Sight™ 被认为业界先进的干涉测量软件。

4视线

数据采集
?可以在4厂颈驳丑迟&迟谤补诲别;测量控制台查看实时图像的同时进行调整
?多种数据采集模式,如单次、平均、连续、差分和突发(电影)

数据分析
?斜率、直方图
?衍射分析(笔厂贵、惭罢贵、自协方差)
?几何光学分析(点扩散强度分布、圆形或方形孔径能量分布)
?泽尼克分析
?各种掩模函数和其他自定义分析函数可以添加。