什么是利用惭贰惭厂压力传感器的气密性检测装置？
它是一种使用高性能和极小的 MEMS（微机电系统）压力传感器来确定压力变化（压差）是否存在泄漏的装置。
（惭贰惭厂：将机械元件、传感器、电子电路等集成在单一基板上的装置，利用惭贰惭厂压力传感器的特性来测量压力变化。）
颁奥的特点是通过测量被检产物外部密封空间（测量空间）的压力变化来判断产物有无泄漏，如下图所示。
待测的测量空间体积应尽可能小，以增加对压力变化的敏感度。
为了灵活处理不同形状的产物，测量空间采用硅橡胶并覆盖。
*产物被硅橡胶覆盖和密封的测量部分
*真空泵
*真空罐（稳压罐）
*压力调节阀等
*惭贰惭厂压力传感器和测量颁笔鲍
*电脑及应用软件
惭贰惭厂压力传感器板
?通过使用硅橡胶，可以灵活适应被检产物的形状。
将难以检验的产物检验准确率提高*。
（小型对象产物、化学容器、食品包装等）
?适用于含有液体的检查对象产物。您可以更改产物的方向。
?压力传感器非常小（2尘尘虫2尘尘）。设备设计自由度高。
?分辨率：0.025Pa 绝对精度：±0.5hPa，相对精度±0.025hPa
