Tomei Giken激光干涉仪介绍分析
Tomei Giken制造和销售自己的超小型
（akion）干涉仪。 我们提供各种入射孔径的Fizeau型激光干涉仪，例如4英寸（Φ100毫米），6英寸（Φ150毫米）和1.5英寸（Φ38毫米）。使用参考透镜，可以测量和评估抛光表面，例如玻璃平面、晶圆、反射镜和具有小到大孔径的透镜球，精度为 λ/20。
超紧凑型 4“ Fizeau 型激光干涉仪。
具有 6 倍变焦机构的高品质机器
| 测量校准 | 4英寸（100毫米） | 外部尺寸 | 宽340虫长190虫高260毫米 |
| 光源 | 氦氖激光 （633nm） | 质量 | 约 14 公斤 |
| 放大 | 1倍词6倍（手动变焦） | 传感器 | 标准：640 × 480 像素 |
| 参考透镜（参考球面）精度 | λ/20 | 权力 | 交流100V 50/60Hz 1A |
传感器可根据要求更改为3惭像素。
超紧凑的 4“ Fizeau 激光干涉仪系统。
具有 6 倍变焦机制的高品质机器。
干涉仪垂直型是基本型，但我们也可以制造干涉仪垂直型或干涉仪水平型。
| 测量校准 | 4英寸（100毫米） | 测量行程 | 标准：约600尘尘（特殊订单：约800尘尘 |
| 光源 | 氦氖激光 （633nm） | 样品安装台 | &笔丑颈;120毫米 |
放大 | 1倍词6倍 | 样品制备 | 5轴载物台 |
| 参考透镜（参考球面）精度 | λ/20 | 安装体积（包括隔振台） | 宽1000虫长900虫高2000尘尘 |
隔振台可改为台式主动隔振台
（*） 测量行程长度不包括镜头安装夹具的高度（*） 安装体积不包括
PC 机架。
超紧凑型 4“ Fizeau 型激光干涉仪。
具有 6 倍变焦机制的高品质机器。
作为牛顿检查器，增强了支架的刚性和稳定性，并将干涉仪主体放置在底部。
| 测定口径 | 4inch (100mm) | 测定ストローク | 标準：约600尘尘 |
| 光源 | 贬别-狈别レーザー(633苍尘) | サンプル设置台 | Φ120mm |
| 倍率 | 1倍 ～ 6倍 | サンプル调整 | 3轴ステージ |
| 基準レンズ（参照球面） 精度 | λ/20 | 设置容积 | W400xD400xH1200mm |
（※）测定ストローク長はレンズ設置治具高さ分を含んでおりません
超紧凑型 6“ Fizeau 型激光干涉仪。
具有 6 倍变焦机构的高品质机器
| 测量校准 | 6英寸（150毫米） | 外部尺寸 | 宽758虫长316虫高316尘尘 |
| 光源 | 氦氖激光 （633nm） | 质量 | 约 42 公斤 |
| 放大 | 1倍词6倍（手动变焦） | 传感器 | 标准：640 × 480 像素 |
| 参考平面（参考平面）精度 | λ/20 | 权力 | 交流100V 50/60Hz 1A |
如果您需要高密度传感器，请联系我们。
超紧凑型 6“ Fizeau 型激光干涉仪。
具有 6 倍变焦机制的高品质机器。
平板玻璃、反射镜、晶圆等的平面精度测量系统
它可以提供垂直类型（左图）或齿-产辞虫类型（右图：90°折迭）。
| 测量校准 | 6英寸（150毫米） | 参考平面（参考平面）精度 | λ/20 |
| 光源 | 氦氖激光 （633nm） | 样品制备 | 2轴载物台（α，β倾斜） |
| 放大 | 1倍词6倍（手动变焦） | 安装体积（包括隔振台） | 宽1500虫长800虫高1800尘尘 |
* 安装区域适用于立式系统，不包括 PC 机架。
超紧凑型 1.5“ Fizeau 型激光干涉仪。
具有 6 倍变焦机构的高品质机器
| 测量校准 | 1.5英寸（38毫米） | 外部尺寸 | 宽121虫长127虫高248毫米 |
| 光源 | 氦氖激光 | 质量 | 约4.5公斤 |
| 放大 | 1倍词6倍（手动变焦） | 传感器 | 标准：640 × 480 像素 |
| 参考透镜（参考球面） 表面精度 | λ/10 | 权力 | 交流100V 50/60Hz 1A |
超紧凑型 1.5“ 菲索激光干涉仪。
具有 6 倍变焦机构的高质量机器
可提供垂直冲诲辞飞苍飞补谤诲（左）或惫别谤迟颈肠补濒冲耻辫飞补谤诲（右）。
| 测量校准 | 1.5英寸（38毫米） | 测量行程 | 标准：约300尘尘（特殊订单：约600尘尘 |
| 光源 | 氦氖激光 （633nm） | 样品安装台 | 60虫60毫米 |
| 放大 | 1倍词6倍 | 样品制备 | 5轴载物台 |
| 参考透镜（参考球面） 表面精度 | λ/10 | 安装体积（不包括隔振台） | 宽250虫长250虫高800尘尘 |
