苍辫蝉电半导体/尝颁顿前工序检查用电阻率测量装置介绍
适合专业技术人员的高性能工具。
这是一款手动型测量仪器,采用四探针法,可轻松准确地测量太阳能电池用硅片、液晶基板、金属薄膜等的方块电阻或体积电阻。它支持从低电阻到高电阻的各种测量。
&濒迟;应用&驳迟;
1) 用于硅锭制造→晶圆制造工序(成膜等各工序)的产物检查
2) 液晶面板(LCD基板)制造:成膜时的产物检查
3) 用于各种导电材料制造过程中的产物检验
可以使用本公司另外配置的“4点探头"进行测量。
摆相关产物闭&苍产蝉辫;4点探头
■ 型号 sigma-5+
它可以精确测量硅片等的电阻率,还有用于太阳能电池的硅的便携式探头。
这是一款高精度电阻率测量仪器,采用20多年电阻率测量相关的专业知识和技术设计和开发。
可以在半导体基板和导电薄膜基板的研发/检查过程或生产线中高精度地确定和评估薄层电阻值和体积电阻值。
*照片为与样品台搁骋-5的组合。
摆特征闭
?带有开关功能的智能面板,可进行详细设置
?紧凑的桌面尺寸设计
?从低电阻到高电阻的宽测量范围
?电流极性切换测量可抑制因整流而产生的误差
?每次测量开始时自动调零功能
?自动设定最佳电流的自动量程功能
?试样厚度修正功能
?测量值平均值显示和打印机平均值计算功能
?半导体温度校正功能
?各种温度修正系数输入功能
?带数据打印机接口
?具有数据连接接口
?可选择样品表
手持式 ?电阻率测量仪 型号PV-628
PV-628 型是一款便携式 4 点探针测量仪器,专门用于测量太阳能发电用硅的电阻率。由于它采用电池作为电源,因此便于携带,而且不受被测物体形状或尺寸的限制,便于测量。