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适用于 6 英寸晶圆和掩模的长寿命紧凑型准分子 VUV 172nm 光源介绍

风冷紧凑型准分子灯单元，灯长160mm，该单元专为VUV 172波长的照射而设计，系统结构简单，具有低成本、高性能的特点，准分子UV灯可实现低温精密处理。

紧凑型准分子UV172nm UV光源是兼容6"晶圆和掩模基板的灯。其特点是简单紧凑、高可靠性风冷型、无需更换灯管的长寿命准分子灯。*1电源为AC100V。

特点&苍产蝉辫;

长寿命风冷准分子灯。无需更换灯管

　　　　本来，准分子紫外线灯的结构是灯泡内部没有电极，因此理论上它们被认为是长寿命灯，在国外有时被称为准分子灯。然而，如今追求高照度的准分子灯由于灯管材料更轻更薄、灯管温度更高以及紫外线能量导致的玻璃变形，往往会导致灯管寿命较短，从而导致成本较高。

根据多年的现场经验，Excimer Co., Ltd.的风冷紧凑型准分子灯需要定期更换外部电极、高压电缆和高压部件，但不需要更换内部电极。灯管本身，实现低成本和高可靠性。*1

特征

• 风冷方式，安装方便。

• 灯管灯长160尘尘

• 电源 AC100V 50/60Hz

• 瞬时开/关灯功能。

• 适合研究和开发。

应用领域

• 表面润湿性和改性

• 光化学

• 反应性翱贬自由基过程

• 抗蚀剂去除

• UV O3工艺

规格

*由于采用紧凑型风冷设计，连续点亮时间在10分钟以内。