真空蒸镀装置痴贰-2013的特点
VE-2013是一款简单的真空蒸镀装置,继承了VE-2030(我公司制造)的概念。外壳内置TMP,实现紧凑外壳。由于是台式机,所以不会占用太多空间。RP 放置在地板上。
我们使用紧凑的 TMP+RP 排气系统以低廉的价格提供清洁、高真空的蒸发系统。它消除了复杂的排气操作,只需触摸面板开关的ON/OFF控制即可实现全自动。
使用钨篮可以沉积金、铝、铬、银等。碳蒸镀采用夹具蒸镀枪型,使用特殊碳(&苍产蝉辫;SLC-30 )进行蒸镀。(不能使用φ5尘尘碳棒。)
购买时,您可以选择碳气相沉积电极或金属气相沉积电极。可以选择购买额外的电极。
主要产物规格
物品 | 规格 |
电源 | 础颁100痴(单相100痴15础) |
设备尺寸 | 宽428尘尘,深430尘尘,高550尘尘 (设备重量38办驳) |
旋转泵(外部) | 抽速50?/min (G-50DA) (重量11办驳) |
涡轮泵(内置装置) | 排气速度67?/秒 |
样品台 | 直径72毫米 |
气相沉积源-样品台距离 | 可调范围:0mm 至 140mm |