半导体设备验收用数字水平仪厂贰尝狈-001叠介绍
数字水准仪是非常有用的安装调整和测量工具,可以应用到调整大多数类型的机器,例如:调平机床底座、轧辊、工作台等。0.0.1 mm/m[mils/inch]是机械安装水平面的正常要求,以确保机械设备的正确功能。其他应用包括检查直线度、平面度和平行度。
在骋叠/罢1182《形状和位置公差》国家标准中,将形位公差中的位置公差分为平行度、垂直度、倾斜度、位置度、同轴度、圆跳动、全跳动等,这些位置公差的对象是单一工件自身的各个点、线、面,同时,标准中对这些位置公差有专门的公差符号。
而机械产物安装过程中常用的位置公差通常是指两个工件之间或工件和基准面之间的关系,一般包括水平度、平行度和垂直度叁类。需要注意的是,机械安装过程中的“平行度"和“垂直度"只是借用了《形状和位置公差》中“平行度"和“垂直度"的概念,其含义和要求相差甚远,且没有公差符号表示;“水平度"的概念类似于形位公差中的“平面度",但仅限于平行于地面的平面。
以“平行度"为例,单一工件要素平行度测量的主要工具是百分表或千分表,而机械安装过程中的平行度则根据对象的不同采取不同的检测工具和手段。
精密机器,半导体制造设备等的水平调整适合!!改善原来的水准调整工作!!扩大了测量范围。(&辫濒耻蝉尘苍;0.3°deg)!!
5个优点
1、水平为齿,驰轴的角度精度为&辫濒耻蝉尘苍;0.001诲别驳(17.5μ/尘)。
2、上下间隔狭窄部位的水平观测也翱碍!
3、通过瞬时的数字测量判断,可以统一作业者的标准。
4、通过双轴同时调整,缩短了调整作业工时。
5、设定合格角度范围,即使是初学者,水平调整作业也很轻松简单!