用于硅晶片表面氧化时的加热和检查用卤素灯介绍
在半导体制造过程中用作卤素灯泡,用于硅晶片表面氧化时的加热和检查。
★ 卤素灯因其温度高、红外辐射集中,是半导体行业硅片外延生长过程的理想热源。这些灯提供明亮、均匀的光线,并且使用寿命长,减少了维护工作量和成本。
我们的主要红外卤素灯在半导体行业中用作硅晶圆外延加工的热源。
★ 它也可以很好地用作聚光灯,通过使用卤素灯泡,您可以创造出适合您需求的照明环境。对于那些寻求专业照明解决方案的人来说,我们的卤素灯的选择。
我们的主要红外卤素灯在半导体行业中用作硅晶圆外延加工的热源。
★ 我们提供适合各种应用的一系列产物,因此您可以选择适合您特定要求的灯。我们提供多种选择来满足任何照明需求。
场所提供您对聚光灯的要求,我们可以使用卤素灯泡营造的氛围。
★ 如果您有兴趣,请随时与我们联系,我们将提供更详细的信息和目录。
适合专业应用的灯,请随时联系。
应用:
设备应用:
●颁痴顿化学气相沉积
●多晶硅沉积
●外延/外延加工
●搁罢笔快速热处理
●氧化
●离子注入退火
设备名称 设备 | 型号 P/N | 灯 灯说明 |
在 | 1010-01116 | JCD120-800W |
在 | 1010-01088 | JCV120V-1000WB |
在 | 0190-22509 | A6 |
在 | 0190-42680 | A8 |
在 | 0190-39351 | E9 |
在 | 0190-36349 | 82V 500W 黑色 |
在 | 0190-38516 | 82V 540W 蓝色 |
在 | 0190-38517 | 95V 645W 红色 |
在 | 0190-26805 | 95V 645W 绿色 |