红外光非接触式测厚仪的检测优势
红外线可以穿过某些物质。
这是一种利用此特性在不接触的情况下测量特定材料厚度的技术。
由于电子设备中使用的硅、蓝宝石、水晶和其他化合物的表面都经过高精度抛光,因此不能使用基于接触的厚度测量,因为它会划伤它们。
此外,由于材料会变形,因此无法通过接触法准确测量橡胶、薄膜、软树脂等的厚度。
激光和电容是非接触式厚度测量的常用方法,但这些是位移计,不能测量绝对值。我们的红外光法可以测量绝对值。
红外光测厚原理
当红外光投射到工件上时,它首先被表面反射。
此外,红外光透过工件内部并在背面反射。
正反两面反射的光被光学探头接收,利用正反两面反射光的时间差作为光干涉差来测量厚度。
允许对多层进行单独的厚度测量
基于此原理,在如上图所示的多层工件的情况下,可以从各个反射光的干涉差来测量单个厚度。
以上是笔颁上显示反射光干涉状态的界面。
从波形的左边看,它变成了搁1到搁4的干扰波。每个干涉差(Peak to Peak)是每一层的厚度。
绝对值测量的*性
《相对值测量》
位移计是一种相对值测量,它测量距离的差异作为厚度。因此,必须准备一个参考平面(零点)。
此外,如果到参考表面的距离 (Gs) 不是恒定的,则会出现错误。如果无法维持或随时间变化,则每次执行测量时都需要进行零点复位。
《绝对值测量》
红外光测量是通过前后表面反射光的干涉差获得的,因此只需将工件放在传感器头下方即可测量绝对厚度。
即使到工件的距离(骋补)有一定波动,如果范围小于最大测量厚度(约4尘尘)-工件厚度(迟),测量值和精度不会受到影响。